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日东
中国

保护胶带粘贴器（真空 + 冲压功能） NEL SYSTEM™ series

这是一款全自动胶带粘贴器，在真空条件下将保护胶带（用于背面研磨处理）粘贴在 300 mm 的晶圆图案表面上。 此外，还具有机械冲压功能。

对于具有凸点或凹凸面的晶圆而言， 通过采用真空安装功能和机械冲压功能，可显著提高胶带粘贴性能。
联系 (关于产品)

【产品技术支持中心】

  1. 华东区域：021-57745720
    （8:45～17:15）
  2. 华南区域：0755-88641173
    （8:45～17:30）
  3. 华北区域：010-85997468-121
    （8:45～17:30）

上述括号内为营业时间（北京时间）周六、周日和节假日除外

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用于 300 mm 晶圆的全自动保护胶带粘贴器（真空粘贴 + 冲压功能）

操作流程

特征

  • 具有前开式晶圆盒/开放式晶圆匣
  • 通过不同压力粘贴/平板冲压可将胶带紧密粘贴在有凸点的晶圆上
  • 可通过触摸面板和配方功能实现简易操作
  • 日志文件功能标准设备
  • 符合 CE 标志 / SEMI S2/S8 规范要求
  • 可添设晶圆映射扫描仪
  • 符合 SECS/GEM 标准

基本规格

  • 可用框架尺寸：300 mm
  • 可用晶圆尺寸：300 mm
  • 可用晶圆厚度：775 um
  • 吞吐量：45 晶圆/小时
  • * 上述规格受晶圆/胶带/其他条件影响，而且在几种情况下还包括选择功能。
    如果条件适合，也可使用超出上述规格的晶圆。 请与我们联系。

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