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切割工序用UV照射机 NEL SYSTEM®系列
该系列是在切割工艺中将保护·固定用胶带自动剥离的贴覆设备。
UA3000Ⅱ
12”晶圆用全自动UV照射机
< 特点 >
- 触摸屏设计，操作简便
- 内置照度传感器
- 配备自动照射时间设定功能，可获得稳定的累计光量
- 采用无臭氧型UV灯
- 可使用单切割环盒
- 遵循安全标准SEMI-S2/S8
UA8400
8”晶圆用全自动UV照射机
< 特点 >
- 触摸屏设计，操作简便
- 内置照度传感器
- 配备自动照射时间设定功能，可获得稳定的累计光量
- 采用无臭氧型UV灯
- 可使用单切割环盒
UA810/UM110
8”晶圆用半自动UV照射机
< 特点 >
- 晶圆贴装架的放置、取出要用手工操作
- 可定时设定照射时间
- 照射强度感应器(可选)
