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晶圆切割用保护胶带贴膜机 NEL SYSTEM®
该系列是在切割工艺中将保护·固定用胶带自动粘贴的贴覆设备。
MA3000Ⅲ
可加工12”晶圆的全自动贴覆机
< 特点 >
- 适用于FOUP/开放式晶舟盒
- 可使用卷筒状/预切割胶带
- 晶圆贴覆后剥离保护胶带的功能
- 更加完善的剥离保护胶带的功能
- 可用于薄晶圆(Min.50μm厚)
- 易耗品更换作业方便
- 配置菜单选择功能，参数设置方便
- 遵循安全标准SEMI-S2/S8
- 可配置保护胶带用UV照射功能
- 可配置OCR/BCR/BCP
- 可配置晶圆测绘扫描功能
- 可配置SECS/GEM通讯功能
MSA300Ⅱ
可加工12”晶圆的半自动切割胶带贴覆机(卷型胶带专用)
< 特点 >
- 用手工放置晶圆和切割环
- 自动操作胶带贴覆、 切割和卷带的半自动设备
- 触摸屏设计，操作方便
- 也能制作方形基板用的卡盘工作台
- 内置去静电装置
MSA300PⅡ
可加工12”晶圆的半自动贴覆机(预切胶带专用)
< 特点 >
- 用手工放置晶圆和切割环
- 由设备自动进行胶带贴覆的半自动设备
- 触摸屏设计，操作方便
- 配置菜单选择功能，参数设置方便
- 工作台升温(Max.120℃)功能
- 可进行带DAF胶带的贴覆
- 遵循安全标准SEMI-S2/S8
- 预切胶带专用
MSA840Ⅱ
可加工8”晶圆的半自动贴覆机(卷型胶带专用)
< 特点 >
- 用手工放置晶圆和切割环
- 由设备自动进行胶带的贴覆、切割、周边胶带去除的半自动设备
- 触摸屏设计，操作方便
- 也能制作方形基板用的卡盘工作台
- 内置静电去除功能
- 卷型胶带专用
M286N／M265N
可加工8”晶圆的半自动贴覆机(卷型胶带专用)
< 特点 >
- 晶圆和胶带的放置工序为手工操作
- 胶带粘贴为自动处理
- 切割及清除周边胶带屑为手工操作
- 也能制作方形基板用的卡盘工作台
- 卷型胶带专用
